东方科技论坛:亟须自主构建我国纳米计量体系

文章来源:  |  发布时间:2016-10-27  |  【打印】 【关闭

  

本报讯(记者黄辛)日前,在主题为“支撑纳米制造的计量技术和传递标准”的第281期上海东方科技论坛上,李同保、金国藩、蒋庄德、庄松林、刘明等院士与专家建议,我国须加强探索并发展基于新原理、新方法和新技术的纳米计量仪器和纳米传递标准,独立自主地构建我国纳米计量体系,对我国数十万台纳米测量仪器进行校准和溯源,提升我国纳米制造的技术能力,为我国成为制造业强国提供计量支撑。

自改革开放以来,中国的制造业规模和制造技术水平都有了显著的发展和提高。着眼未来,中国要从经济大国迈向经济强国,首先要成为制造业强国。世界各国都在加强对制造技术的研究,力求在世界科技经济格局中处于领先地位,如德国的工业4.0,美国的“制造业复兴”和我国的“中国制造2025”等。

本次论坛执行主席、同济大学教授李同保表示,制造领域几乎所有的创新和技术进步都离不开纳米科技,纳米科技已成为国防战略和新兴产业的制高点,对国家安全和国民经济建设具有重大作用。

中科院院士、中科院微电子研究所研究员刘明等认为,随着器件的特征尺寸进入纳米量级(1 纳米~100 纳米),加工制造过程中的不确定性显著增加,加工误差对器件性能的影响也越来越大。纳米计量不仅是测量和表征纳米尺度器件的基础,同时在纳米加工工艺控制和质量管理领域也扮演重要角色,它是微电子、微机械、超精密加工、纳米医学、纳米生物学等领域中不可回避的关键科学与技术问题。

国际上对纳米计量技术的研究主要集中在计量型纳米精度检测技术和纳米尺度传递标准两方面。纳米计量像一把“尺子”,可以为具有纳米精度的仪器装置和实物标准进行校准,测量结果可溯源于国际单位制,准确性和可靠性大幅度提高。

中国已成为世界纳米科技大国,构建了庞大的纳米制造研发和生产体系,拥有SEM、AFM等纳米测量仪器数十万台。但是纳米计量技术、测试仪器和传递标准却相对较少,这严重制约了我国纳米制造技术和相关行业的进一步发展。对此,西安交通大学教授蒋庄德表示:“作为‘中国制造2025’的基础与核心技术,计量测试与传感技术的发展面临新的挑战和机遇。”

《中国科学报》 (2016-10-26 第4版 综合)